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技術(shù)編號：6837200

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本發(fā)明涉及微機(jī)電旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，特別是熱驅(qū)動(dòng)的微機(jī)電旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)。微機(jī)電旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)(MEMS)和其他微型設(shè)計(jì)裝置由于這些裝置所提供的尺寸、價(jià)格和可靠性方面的優(yōu)越性，目前正在研究各種廣泛的運(yùn)用。已經(jīng)創(chuàng)造了許多不同種類的MEMS裝置，包括微型齒輪、微型電動(dòng)機(jī)和其他能夠運(yùn)動(dòng)或者施加力的微型加工的裝置。這些MEMS裝置可以用在各種方面，包括水力應(yīng)用，其中利用MEMS泵或者閥門，和包括MEMS光閥門和快門的光學(xué)應(yīng)用。MEMS裝置依靠各種技術(shù)，提供在這些微型結(jié)構(gòu)內(nèi)引起所希望的運(yùn)動(dòng)...
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