技術(shù)編號：6839388
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請涉及一種探針裝置，這種探針用于探測類似于半導(dǎo)體集成電路和液晶板之類電子裝置的電屬性。背景技術(shù)在現(xiàn)有技術(shù)中，眾所周知的用于探測電子裝置電屬性的方法是通過將梳齒狀的電導(dǎo)體端部與電子裝置的多個電極相接觸來完成的。日本公開專利1983-83271公開了一種使用由硅制成的梳齒狀電導(dǎo)體的探測方法。在日本公開專利1983-83271公開的梳齒狀電導(dǎo)體中，探針被排列成梳齒形狀，其梳齒間距要比試件電極的間距更窄。通過按照比試件電極間距窄得多的間距來排列探針，探針裝置的...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。