技術(shù)編號(hào):6842302
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于集成電路器件制造,具體涉及一種平面螺旋電感的結(jié)構(gòu)和制造。背景技術(shù)在CMOS射頻集成電路(RFIC)發(fā)展中,最迫切的和最困難的是要發(fā)展高性能的新器件和新的單元電路,它們是實(shí)現(xiàn)單片CMOS集成射頻前端的基礎(chǔ)。平面螺旋電感作為射頻集成電路中的關(guān)鍵元件,是電路中最難設(shè)計(jì)和掌握的元件,它的性能參數(shù)直接影響著射頻集成電路的性能。片上電感能實(shí)現(xiàn)射頻集成電路中電感的集成化問(wèn)題,從而有助于射頻集成電路的片上系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)。片上平面螺旋電感大多通過(guò)金屬薄膜在硅襯底上繞...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。