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半導(dǎo)體裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6842359

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本實用新型是關(guān)于半導(dǎo)體裝置,特別是是關(guān)于一種互補式場效晶體管(complementary field-effect transistors)。背景技術(shù)金屬氧化物半導(dǎo)體場效晶體管(metal-oxide-semiconductorfield-effect transistors;MOSFET)的尺寸縮減,包含柵極長度與柵氧化物的尺寸縮減,促使在過去數(shù)十年間集成電路每單位元件的速度、效能、密度及成本的改善。為了更加強化晶體管的效能,可使其溝道區(qū)發(fā)生應(yīng)變而改善載...
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