技術(shù)編號(hào):6842905
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及生產(chǎn)絕緣膜的涂料組合物、使用該涂料組合物制備低電介絕緣膜的方法、用于制備半導(dǎo)體器件的低電介絕緣膜及包括該絕緣膜的半導(dǎo)體器件,更特別的,涉及生產(chǎn)具有低電介常數(shù)而且能夠生產(chǎn)具有優(yōu)異機(jī)械強(qiáng)度(彈性)的絕緣膜的涂料組合物、使用該涂料組合物制備低電介絕緣膜的方法、用于制備半導(dǎo)體器件的低電介絕緣膜和包括該絕緣膜的半導(dǎo)體器件。背景技術(shù) 最近,隨著半導(dǎo)體器件集成增強(qiáng),配線密度增加,配線間距減少。這引起金屬配線寄生電容的增加,這導(dǎo)致諸如RC延遲、交叉通訊并增加功率...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。