技術(shù)編號：6842906
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中用來移送被處理基板的移送裝置，和納入該移送裝置的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)。這里，所謂半導(dǎo)體處理，意味著為了通過在晶片或LCD(液晶顯示器)或FPD(平板顯示器)用的玻璃基板等被處理基板上按規(guī)定圖形形成半導(dǎo)體層、絕緣層、導(dǎo)電層等，在該被處理基板上制造包括半導(dǎo)體器件、或連接于半導(dǎo)體器件的配線、電極等的結(jié)構(gòu)物所實(shí)施的種種處理。背景技術(shù) 作為在半導(dǎo)體晶片等被處理基板上施行半導(dǎo)體處理的系統(tǒng)，有逐張?zhí)幚淼膯纹教幚硌b置。此外，有把多個這種處理裝置經(jīng)由...
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