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本實(shí)用新型涉及一種硒蒸氣快速結(jié)晶退火爐結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種利用噴灑頭均勻噴灑硒蒸氣至銅銦鎵硒層上以實(shí)現(xiàn)快速結(jié)晶退火處理而改善的結(jié)晶性的退火爐結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)一般銅銦鎵硒(CKS)太陽能電池的結(jié)構(gòu)包括依序堆棧在玻璃基板上的鉬層、 CIGS層、硫化鎘(CDQ層、氧化鋅(SiO)層以及鋁鋅氧化物(AZO)層，其中CIGS層一般稱為吸收層，是主要的光吸收及光電轉(zhuǎn)換中心，因此，CIGS層的結(jié)晶狀態(tài)會(huì)大幅影響到整體 CIGS太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。在CIGS層的現(xiàn)有技術(shù)...
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