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采用超臨界流體/化學(xué)制劑去除mems犧牲層的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6846349

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本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體制造中有用的超臨界流體基組合物,其用于將犧牲層如硅、氧化硅或氮化硅從具有此類犧牲層的微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)和其它基片除去。該組合物還具有去除灰化后與蝕刻后殘留物的效用。相關(guān)技術(shù)描述微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)是將機(jī)械和電氣部件集成于單個(gè)硅晶片上的器件。電氣和機(jī)械部件分別采用常規(guī)的集成電路(IC)技術(shù)和“微加工”法制造。微加工用于在晶片上制造多個(gè)能檢測(cè)并控制環(huán)境的機(jī)械裝置,包括但不限于懸臂梁、鉸鏈、加速計(jì)、微傳感器、微激勵(lì)器和微鏡。MEM...
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