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技術(shù)編號(hào)：6848493

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體集成電路制造工藝，尤其涉及一種制造高壓LCD驅(qū)動(dòng)器件的前道工藝。背景技術(shù) 目前高壓LCD驅(qū)動(dòng)器件前道注入工藝，包括高壓P阱注入、高壓N阱注入、淺槽隔離結(jié)構(gòu)的制備、高壓DDD-P注入、高壓DDD-B注入、低壓N阱注入、低壓P阱注入等步驟，即在現(xiàn)有制程中，制備柵氧之前，高壓、低壓阱和高壓DDD注入等過程需要6次光刻。因而減少前道注入過程的光刻次數(shù)，可以減少工藝步驟，降低成本。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種制造高壓LCD驅(qū)動(dòng)器件的前...
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