技術(shù)編號：6850728
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在聚合物基底上沉積氧化銦或銦錫氧化物薄膜的方法。更確切地說，本發(fā)明涉及一種方法，其中通過使用具有能量的離子束來使聚合物基底表面改性，并且通過離子輔助沉積和/或離子束濺射法在其上沉積透明而導(dǎo)電的氧化銦或銦錫氧化物薄膜。通過利用固有的特性，透明導(dǎo)電薄膜被廣泛用在各種領(lǐng)域中，例如在光學(xué)領(lǐng)域中的抗靜電薄膜，如陰極射線管或玻璃，LCD或半導(dǎo)體的電極，太陽能電池或氣體傳感器的電極。迄今，是使用玻璃作為沉積透明導(dǎo)電薄膜的基底，并使用各種方法來將薄膜生成于玻璃上...
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