技術(shù)編號：6850975
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在收納了半導(dǎo)體晶片等需要防止異物附著的材料的狀態(tài)下將收納容器內(nèi)部的氣體置換成非活性氣體等并且對收納于容器內(nèi)的半導(dǎo)體晶片等的表面進(jìn)行凈化的收納容器的氣體置換裝置、以及采用該裝置的收納容器的氣體置換方法。背景技術(shù) 半導(dǎo)體晶片逐漸向大口徑化方向發(fā)展，并且形成于半導(dǎo)體上的加工圖案也急速向微細(xì)化方向發(fā)展。與此相伴隨地，對半導(dǎo)體晶片的污染防止和表面凈化的技術(shù)要求也越來越高。在這種背景下，開發(fā)出了下述技術(shù)，即用于在收納保管半導(dǎo)體晶片的半導(dǎo)體晶片收納容器中保持晶...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。