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本發(fā)明涉及一種功率場效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)及其制造方法，尤指一種功率結(jié)場效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)及其制造方法。背景技術(shù) 近年來，場效應(yīng)晶體管(Field Effect Transistor，F(xiàn)ET)器件，例如金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(metal oxide semiconductor field effect transistor，MOSFET)或結(jié)場效應(yīng)晶體管(Junction Field Effect Transistor，JFET)等，在其操作性能及制造流程上均已...
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