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存儲器件及其制造方法技術資料下載

技術編號:6851843

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本發(fā)明涉及一種非易失,本發(fā)明尤其涉及一種諸如電可擦除編程只讀存儲(下文簡稱EEPROM)器件的。背景技術 作為本領域的已知技術,與靜態(tài)隨機存取存儲器和動態(tài)隨機存取存儲器不同,非易失存儲器件是指在其中即使在連接電源時數據也不會被擦除的器件。在非易失存儲器件的EEPROM器件中,在其柵極上施加更高的電壓,以執(zhí)行編程和擦除操作。更為具體來講,EEPROM器件的編程和擦除都是通過F-N隧穿實施的,其中,電子隧穿通過形成于一部分溝道區(qū)內的隧道氧化膜?!禝EEE St...
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