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半導(dǎo)體器件、圖案生成方法、制造方法及圖案生成裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6851890

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路器件、產(chǎn)生半導(dǎo)體集成電路器件的圖案的方法、制造半導(dǎo)體集成電路器件的方法以及半導(dǎo)體集成電路器件的圖案產(chǎn)生裝置。更具體地,本發(fā)明涉及包括旁路電容器和電感器,以針對噪聲保護半導(dǎo)體集成電路器件的半導(dǎo)體集成電路器件,以及產(chǎn)生該半導(dǎo)體集成電路器件的圖案的方法。背景技術(shù) LSI已經(jīng)廣泛的用在通信設(shè)備中,例如,移動電話、普通家用電器或玩具、汽車以及計算機。然而,在這些裝置中出現(xiàn)的電磁干擾(EMI)引起接收設(shè)備,例如,電視和收音機,產(chǎn)生無線電干擾,或...
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