技術(shù)編號：6852384
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及移送例如半導(dǎo)體晶片等移送對象物的移送裝置，特別是，涉及適于備有一個或多個處理腔的半導(dǎo)體制造裝置等的移送裝置。背景技術(shù) 歷來，在半導(dǎo)體制造裝置中，提出了使基板出入于進(jìn)行各種加工處理的處理腔的移送裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。在這種歷來的移送裝置中，成為分別使同心三軸構(gòu)成的第1臂、第2臂、第3臂獨立地旋轉(zhuǎn)。而且，驅(qū)動各臂的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸由皮帶相對設(shè)在臂旋轉(zhuǎn)用馬達(dá)上的減速機(jī)連接。此外，第1從動臂的基端部旋轉(zhuǎn)自如地連接于第1臂的前端部，并且第2從動臂的基端部...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。