技術(shù)編號：6852854
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及通過蝕刻，在形成于構(gòu)成顯示裝置的絕緣性基板表面的絕緣膜上形成接觸孔的制造方法和制造裝置。背景技術(shù) 顯示裝置的形成方法為首先，在玻璃基板等絕緣性基板的表面上形成柵極電極布線和柵極電極后，形成柵極絕緣層和半導(dǎo)體層，然后形成源極電極布線、源極電極和漏極電極，從而形成完整的TFT(薄膜晶體管)；其次，形成用于保護TFT的、由氮化硅膜等構(gòu)成的鈍化膜；然后，形成由透明樹脂構(gòu)成的層間絕緣膜，并在鈍化膜和層間絕緣膜上形成接觸孔；最后，在層間絕緣膜上形成像素電極，...
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