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通過(guò)注氧進(jìn)行量子限制的硅基單電子晶體管及制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6853039

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本發(fā)明涉及一種通過(guò)注氧進(jìn)行量子限制的新結(jié)構(gòu)硅基單電子晶體管,屬于納米電子。背景技術(shù) 隨著CMOS大規(guī)模集成電路的飛速發(fā)展,晶體管數(shù)量的增長(zhǎng)和尺寸的減小已經(jīng)迫使芯片的功率耗散能力趨向極限。如果不能及時(shí)散熱,器件的溫度將不斷升高,工作于不平衡狀態(tài),以至器件被破壞,因此必須減少工作的電子數(shù)量。減小導(dǎo)電溝道的電子流通截面,增大電阻,可以有效地控制電子的數(shù)量。當(dāng)電導(dǎo)的電子輸運(yùn)空間尺寸減小到納米量級(jí)時(shí),將導(dǎo)致器件量子力學(xué)效應(yīng)的顯著增強(qiáng)。根據(jù)測(cè)不準(zhǔn)原理,電子在局域空間的...
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