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以低介電常數(shù)內(nèi)連線隔離的半導(dǎo)體芯片的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6854159

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本發(fā)明涉及一種高壓金氧半導(dǎo)體晶體管及混合信號(hào)電路結(jié)構(gòu),特別是涉及一種具有低介電常數(shù)材料的內(nèi)連線隔離結(jié)構(gòu)的高壓金氧半導(dǎo)體晶體管及混合信號(hào)電路結(jié)構(gòu)。背景技術(shù) 集成電路(integrated circuits;IC)目前已經(jīng)具有小于0.09微米的生產(chǎn)技術(shù),未來的發(fā)展不只有在尺寸及整合密度上的進(jìn)步,更朝向?qū)?shù)種半導(dǎo)體元件結(jié)合在單一芯片上的發(fā)展。在系統(tǒng)單芯片(system-on-chip;SOC)的技術(shù)上,不同型態(tài)的微電子元件,例如邏輯元件、模擬元件、記憶體陣列及高...
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