技術編號：6854759
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種功能膜的制造方法以及薄膜晶體管的制造方法。背景技術 在制造作為用于液晶裝置等電光學裝置的開關元件的薄膜晶體管(TFT)時，在形成電極或布線等的工序中，例如使用光刻法。在利用被稱為噴濺法、CVD的已有成膜方法預先形成功能膜之后，在基板上涂布被稱為抗蝕劑的感光材料，照射回路圖案而進行顯影之后，按照抗蝕劑圖案而蝕刻功能膜，由此形成功能薄膜的回路圖案。在利用了該一系列光刻法的功能薄膜的形成、圖案形成在成膜處理和蝕刻處理時需要真空裝置等大規(guī)模的設備和復...
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