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技術(shù)編號(hào)：6854787

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本發(fā)明涉及從襯底背面形成開(kāi)口部，使形成在半導(dǎo)體襯底上的金屬層露出，并形成通過(guò)該開(kāi)口部與所述金屬層連接的配線的，特別是，涉及監(jiān)視開(kāi)口的形成狀態(tài)的技術(shù)。背景技術(shù) 近年來(lái)，作為三維安裝技術(shù)，并作為新的封裝技術(shù)CSP(芯片尺寸封裝Chip Size Package)正受到注目。所謂CSP是指，其外形尺寸和半導(dǎo)體芯片的外形尺寸大致相同的小型封裝。目前，作為CSP的一種眾所周知的是BGA(Ball GridArray)型半導(dǎo)體裝置。該BGA型半導(dǎo)體裝置將多個(gè)由焊錫等金...
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