技術(shù)編號：6856677
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微電子，具體涉及將半導(dǎo)體晶片從位于半導(dǎo)體加工室內(nèi)的晶片座中舉升的機械裝置。背景技術(shù) Lam公司(美國)曾發(fā)明一種用線傳動的舉升裝置，即通過鋼絲繩的張緊和松弛來完成針的升起和降落，如圖1所示。它是由升針1’、頂升裝置基體2’、緊定旋鈕3’、調(diào)節(jié)旋鈕及牽引繩4’等構(gòu)件組成。該裝置同樣可以完成使晶片升降的動作操作，同時，在需要的情況下可調(diào)整舉升裝置的長度以及清洗和更換使用頻繁的升針1’。由于該裝置是利用線傳動原理完成針的升起和落下，于是還需要在牽引繩的...
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