技術(shù)編號(hào)：6856922
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種使用激光束對(duì)目標(biāo)進(jìn)行照射的激光照射設(shè)備來制作半導(dǎo)體裝置的方法。具體地，本發(fā)明涉及一種包括具有超淺結(jié)的薄膜晶體管(在下文稱為TFT)的半導(dǎo)體裝置。例如，本發(fā)明涉及大規(guī)模集成電路(LSI)、以液晶顯示面板為代表的光電裝置、具有發(fā)光元件的發(fā)光顯示裝置、具有CDD(電荷耦合裝置)的光接收裝置、諸如SRAM或DRAM的存儲(chǔ)裝置以及配備這些裝置中的任一個(gè)作為其部件的電子設(shè)備。在本說明書中，半導(dǎo)體裝置表示能夠使用半導(dǎo)體特性進(jìn)行運(yùn)作的通用裝置。光電裝置、半導(dǎo)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。