技術(shù)編號(hào)：6857418
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體上涉及用于檢驗(yàn)半導(dǎo)體晶片或基板的方法和裝置。更具體來說，本發(fā)明涉及一種用于基于規(guī)程(recipe)來檢驗(yàn)半導(dǎo)體晶片或基板的方法和裝置，該規(guī)程限定了用于檢驗(yàn)晶片或基板的處理。本發(fā)明要求2004年12月28日提交的日本專利申請(qǐng)No.2004-379694的優(yōu)先權(quán)，通過引用將其內(nèi)容合并于此。背景技術(shù) 為了更全面地描述本發(fā)明所屬的的情況，特此通過引用將此后在本申請(qǐng)中引用或標(biāo)示的全部專利、專利申請(qǐng)、專利公報(bào)、科學(xué)文獻(xiàn)等的全部?jī)?nèi)容合并于此。半導(dǎo)體晶片檢驗(yàn)裝置...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。