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發(fā)光器件基片的蝕刻的制作方法技術資料下載

技術編號:6865835

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本發(fā)明涉及半導體發(fā)光器件及其制造方法。背景技術半導體發(fā)光器件,諸如發(fā)光二極管(LED)或激光二極管,廣泛用于許多用途。正如本專業(yè)的技術人員眾所周知的,半導體發(fā)光器件包括半導體具有一個或多個配置成當其受激勵時發(fā)射相干和/或不相干光的半導體層的發(fā)光元件。正如本專業(yè)的技術人員眾所周知的,發(fā)光二極管或激光二極管一般包括微電子基片上的二極管區(qū)域。微電子基片可以是例如砷化鎵、磷化鎵、它們的合金、碳化硅和/或藍寶石。LED的持續(xù)發(fā)展已經產生高效和在機械上強健的光源,它可...
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