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簡(jiǎn)化的晶片對(duì)準(zhǔn)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6866239

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本發(fā)明總體涉及一種半導(dǎo)體制造,并且更特別是涉及一種簡(jiǎn)化晶片對(duì)準(zhǔn)的技術(shù)。背景技術(shù) 用于半導(dǎo)體制造的晶片通常由例如塊硅的結(jié)晶材料形成。特別是,每種特定類型的單晶硅(公知為剛玉)生長(zhǎng)成細(xì)長(zhǎng)的長(zhǎng)度,并且從中切割成薄片(例如晶片)。晶片的結(jié)晶結(jié)構(gòu)有利于形成半導(dǎo)體元件,這是由于它有助于控制器件的電氣性能并且在整個(gè)半導(dǎo)體材料中限制均勻的電性能。另外,由于降低器件性能的雜質(zhì)趨于集中在材料的原子結(jié)構(gòu)的不規(guī)則處,結(jié)晶結(jié)構(gòu)的規(guī)則性可提供預(yù)期性極高的器件性能和產(chǎn)量。在硅晶片上形成...
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