技術(shù)編號(hào):6866711
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種采用負(fù)性光刻膠組合物形成多層次(multiple level)電鍍產(chǎn)品的方法以及在這種方法中使用的光敏組合物,更具體而言,涉及通過(guò)采用厚膜多層抗蝕劑圖案進(jìn)行電鍍處理,形成具有高長(zhǎng)寬比的電鍍產(chǎn)品或具有復(fù)雜形狀的多層次電鍍產(chǎn)品的方法,以及在這種方法中使用的光敏組合物。要求2004年6月30日在日本提交的日本專利申請(qǐng)2004-195034的優(yōu)先權(quán),并且該申請(qǐng)通過(guò)引用結(jié)合到此。背景技術(shù) 最近幾年,在用于形成微觀結(jié)構(gòu)和以MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))代表的微觀...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。