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微擺動(dòng)元件及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6870234

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本發(fā)明涉及微擺動(dòng)(micro-oscillating)元件,該微擺動(dòng)元件包括可旋轉(zhuǎn)位移的部件,例如微鏡元件、加速度傳感器、角速度傳感器、振動(dòng)元件等。背景技術(shù) 近年來(lái),人們努力實(shí)踐使用具有通過(guò)微機(jī)械加工技術(shù)形成的微結(jié)構(gòu)的元件。例如在光通信領(lǐng)域,作為能夠反射光的微小元件,微鏡元件被特別關(guān)注。在光通信中,光纖作為一種傳遞光信號(hào)的介質(zhì)。當(dāng)通過(guò)一個(gè)指定光纖的光信號(hào)被傳輸?shù)搅硪还饫w時(shí),通常使用所謂的光切換設(shè)備。為了實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量光通信,光切換設(shè)備必須具有在切換操作中的諸如...
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