技術(shù)編號(hào):6870234
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微擺動(dòng)(micro-oscillating)元件,該微擺動(dòng)元件包括可旋轉(zhuǎn)位移的部件,例如微鏡元件、加速度傳感器、角速度傳感器、振動(dòng)元件等。背景技術(shù) 近年來(lái),人們努力實(shí)踐使用具有通過(guò)微機(jī)械加工技術(shù)形成的微結(jié)構(gòu)的元件。例如在光通信領(lǐng)域,作為能夠反射光的微小元件,微鏡元件被特別關(guān)注。在光通信中,光纖作為一種傳遞光信號(hào)的介質(zhì)。當(dāng)通過(guò)一個(gè)指定光纖的光信號(hào)被傳輸?shù)搅硪还饫w時(shí),通常使用所謂的光切換設(shè)備。為了實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量光通信,光切換設(shè)備必須具有在切換操作中的諸如...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。