技術(shù)編號(hào)：6870283
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。背景技術(shù)本發(fā)明涉及一種互連裝置(Leitbahnanordnung)以及所屬的制造方法，并且尤其是涉及一種具有改進(jìn)的電特性的互連裝置，如該互連裝置可以在DRAM存儲(chǔ)單元中被用作位線那樣。 背景技術(shù) 尤其是在半導(dǎo)體技術(shù)中，互連裝置被用于實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件的布線。在這種情況下，通常在諸如半導(dǎo)體襯底的導(dǎo)電的載體襯底上構(gòu)造介電層或絕緣層，并且在該介電層或絕緣層上構(gòu)造導(dǎo)電的互連層，其中，結(jié)構(gòu)化之后的互連層是最終的互連。然后相繼構(gòu)造了其他的絕緣層和導(dǎo)電層，由此產(chǎn)生了多層堆...
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