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低激勵(lì)電壓和精確控制相移特性的mems毫米波移相器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6870293

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本發(fā)明涉及一種移相器。背景技術(shù) 相控陣天線波束的相控掃描依靠的是天線陣中的大量移相器,在相控陣?yán)走_(dá)中,相控陣天線有上千個(gè)單元,每一個(gè)單元都需要有一個(gè)移相器。陣列中每個(gè)單元上移相器的相位可在(0~2π)之間調(diào)整。用電控方式調(diào)節(jié)移相器,可改變天線孔徑上的相位分布,實(shí)現(xiàn)波束在空間掃描。因此,移相器是饋電系統(tǒng)中一個(gè)關(guān)鍵微波元件。在S、L和P波段相控陣中高頻數(shù)字式移相器大多由PIN開關(guān)二極管實(shí)現(xiàn),C、X和Ku波段多采用鐵氧體器件來實(shí)現(xiàn)。但是到了毫米波頻段,上述實(shí)現(xiàn)方...
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