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無接觸點(diǎn)信道寫入/抹除的閃存存儲單元結(jié)構(gòu)與制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6871973

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本發(fā)明涉及一種只讀性存儲元件結(jié)構(gòu)與制造方法,且特別涉及一種閃存的結(jié)構(gòu)與制造方法。請參照附圖說明圖1,是公知的閃存存儲單元(flash memory cell)的結(jié)構(gòu)示意圖。閃存存儲單元在一P型基底10上形成一N井12,然后在N井12上形成一堆棧柵(stacked gate)14,并于N井12內(nèi)部與堆棧柵14兩側(cè)分別形成N+離子區(qū)域16、18,用以分別作源極與漏極,且在漏極端的N+離子區(qū)域18外圍再形成一深P型離子區(qū)域20,并在堆棧柵14下面形成一淺P型離子...
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