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技術(shù)編號(hào)：6871982

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本發(fā)明涉及一種內(nèi)存的制造方法，且特別涉及一種具有浮置柵(Floating gate)的內(nèi)存組件的制造方法。具有浮置柵結(jié)構(gòu)的內(nèi)存組件，例如是可電抹除且可程序只讀存儲(chǔ)器(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory，EEPROM)以及閃存(Flash memory)，在可寫(xiě)入、可抹除、以及斷電后仍可保存數(shù)據(jù)之外，還具有集成度高的優(yōu)點(diǎn)。因此是個(gè)人計(jì)算機(jī)和電子設(shè)備所廣泛采用的內(nèi)存組件。上述具有浮置柵結(jié)構(gòu)的內(nèi)...
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