技術(shù)編號：6872193
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及將處理液供給被處理基板上并進(jìn)行處理的技術(shù)，特別涉及以無旋轉(zhuǎn)方式將處理液涂敷在基板上的基板處理技術(shù)。背景技術(shù) 現(xiàn)階段，在平板顯示器(FPD)制造過程中的光刻法(photolithograph)工序中，作為有利于被處理基板(例如玻璃基板)大型化的抗蝕劑涂敷法，正在普及中的是一面由長尺型的抗蝕劑噴嘴以帶狀將抗蝕劑液噴出在基板上，一面通過使抗蝕劑噴嘴相對移動即掃描，而不需要旋轉(zhuǎn)運(yùn)動地在基板上涂敷抗蝕劑液至所要膜厚的無旋轉(zhuǎn)方式。根據(jù)無旋轉(zhuǎn)方式的現(xiàn)有技術(shù)的抗...
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