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非易失性存儲器的制造方法技術資料下載

技術編號:6873979

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本發(fā)明涉及一種半導體元件,且特別是涉及一種。背景技術 非易失性存儲器元件由于具有可多次數(shù)據(jù)的存入、讀取、抹除等操作,且存入的數(shù)據(jù)在斷電后也不會消失的優(yōu)點,因此已成為個人計算機和電子設備所廣泛采用的一種存儲器元件。典型的非易失性存儲器元件,一般是被設計成具有堆疊柵極(Stacked-Gate)結構,其中包括以摻雜多晶硅制作的浮置柵極(Floating Gate)與控制柵極(Control Gate)。浮置柵極位于控制柵極和基底之間,且處于浮置狀態(tài),沒有和任何...
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