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技術(shù)編號：6873981

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)，且特別是涉及一種不當(dāng)移位晶片檢測系統(tǒng)。背景技術(shù) 晶片傳送盒，例如裝13片或25片十二寸晶片的前開式合成箱(FrontOpening Unified Pod，F(xiàn)OUP)，用來運(yùn)送工藝步驟間的晶片以避免晶片受污染。晶片傳送盒在送至開啟器(以下稱為晶盒開啟器)后，晶盒開啟器自動(dòng)開啟晶片傳送盒的門，而其中的晶片由其它機(jī)構(gòu)取出并送至工藝機(jī)器。圖1顯示半導(dǎo)體晶片廠的俯視平面圖。晶片傳送盒10在送至晶盒開啟器20后，晶盒開啟器自動(dòng)開啟晶片傳送盒...
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