技術(shù)編號(hào)：6873994
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光構(gòu)圖裝置及其使用方法。背景技術(shù) 構(gòu)圖裝置用于構(gòu)圖入射光。靜態(tài)構(gòu)圖裝置可以包括標(biāo)線片或掩模。動(dòng)態(tài)構(gòu)圖裝置可以包括通過接收模擬或數(shù)字信號(hào)產(chǎn)生圖形的單獨(dú)可控元件的陣列。這種動(dòng)態(tài)構(gòu)圖裝置有時(shí)被稱為無掩模系統(tǒng)。用于使用構(gòu)圖裝置的典型環(huán)境可以是但不限于光刻設(shè)備、投影儀、投影顯示設(shè)備等等。最近，有時(shí)被稱為空間光調(diào)制器的單獨(dú)可控元件的陣列可以包括各種類型的微鏡面陣列。鏡面類型包括但不限于扁平傾斜鏡面、單相位階躍的(single phase-step)傾斜鏡面、...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。