技術(shù)編號：6874084
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種表面處理方法、表面處理基板及膜圖案的形成方法等，更具體說，是涉及一種以得到具有所需的均勻親液性的基板為目的的表面處理方法，該基板適于形成用于電極、天線、電路、集成電路等配線的導(dǎo)電膜配線或硅膜圖案等膜圖案，以及根據(jù)該表面處理所得到的表面處理基板、及膜圖案的形成方法等。背景技術(shù) 在制造用于電路和集成電路等的配線時，會用到如光刻法等。該光刻法是將叫做抗蝕劑的感光材料涂布在預(yù)先涂有導(dǎo)電膜的基板上，然后照射電路圖案而顯影，然后根據(jù)抗蝕劑圖案蝕刻導(dǎo)電膜，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。