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一種用于制備pn結(jié)的高溫爐門自動(dòng)密閉結(jié)構(gòu)裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6878672

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本實(shí)用新型涉及一種用于高溫?cái)U(kuò)散系統(tǒng)的高溫爐門自動(dòng)密閉結(jié)構(gòu)裝置, 具體是指用于制備晶硅太陽能電池PN結(jié)的高溫?cái)U(kuò)散系統(tǒng)中的自動(dòng)密閉結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)隨著人們環(huán)保意識(shí)的日益提高,國際、國內(nèi)對(duì)可再生能源,特別是對(duì)太陽能 的開發(fā)利用的需求越來越強(qiáng)。在過去的IO多年來世界太陽能電池的產(chǎn)量一直以 每年30%以上的高速增長,超過半導(dǎo)體行業(yè)是世界上發(fā)展最快的行業(yè)之一。據(jù) 統(tǒng)計(jì)目前世界上共有136個(gè)國家投入普及應(yīng)用太陽能電池的熱潮中,其中有95 個(gè)國家正在大規(guī)模地進(jìn)行太陽能電池及...
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