技術編號：6887128
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明的實施例大體上是關于在環(huán)境控制氛圍下連續(xù)執(zhí)行多次基板處理 的設備。背景技術基板產(chǎn)量一直是半導體處理的挑戰(zhàn)。技術要精進，需持續(xù)地有效處理半導 體基板。群集工具(cluster tool)已發(fā)展做為同時處理多個基板且不破真空狀 態(tài)的有效手段。不像因處理單一基板后將基板傳送到另一處理室而接觸大氣， 多個處理室可連接至共通的傳送室，如此當于一處理室中處理完基板后，仍可 在真空狀態(tài)下將基板移到另一連接同一傳送室的處理室。群集工具的另一好處為，可在群集工具的不同...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。