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用于從選定區(qū)域去除納米團(tuán)簇的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6888311

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本發(fā)明一般涉及形成半導(dǎo)體器件的方法,并且尤其涉及用于形成納米團(tuán)簇或硅點(diǎn)的半導(dǎo)體工藝。背景技術(shù)當(dāng)在集成電路的數(shù)據(jù)儲(chǔ)存部分中形成硅點(diǎn)或納米團(tuán)簇時(shí),必須在形成外圍器件之前去除在外圍區(qū)域中沉積的納米團(tuán)簇。在沉積期間,形成了不同尺寸和不同形狀的納米團(tuán)簇。 一些沉積的納米團(tuán)簇要遠(yuǎn)大于其他為長(zhǎng)方形形狀的其他納米團(tuán)簇。在半導(dǎo)體襯底上的納米團(tuán)簇的沉積是非選擇性的,因而在沉積之后必須選擇性地去除納米團(tuán)簇。因?yàn)楫?dāng)使用傳統(tǒng)的蝕刻工藝時(shí), 一般會(huì)有一些納米團(tuán)簇留下,所以納米團(tuán)簇的隨...
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