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聚焦誤差檢測系統(tǒng)及光讀出和/或?qū)懭朐O(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:689

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本發(fā)明涉及一種輻敏半導(dǎo)體器件,該半導(dǎo)體器件包括一半導(dǎo)體本體和一電路,該半導(dǎo)體本體在一基本平坦的表面上提供至少兩個子元件,該子元件構(gòu)成輻敏的二極管,二極管與半導(dǎo)體本體部分毗鄰,子元件間的距離應(yīng)足夠小,以使子元件間的半導(dǎo)體本體因在二極管兩端加上一反向電壓而完全被耗盡區(qū)耗盡,以便抑止子元件間的電荷轉(zhuǎn)移;該電路用以在輻敏二極管兩端施加反向電壓,以及用以檢測在該耗盡區(qū)所組成的二極管輻敏區(qū)中由輻射所產(chǎn)生的光電電流。上述類型的輻敏半導(dǎo)體器件例如被用于圖像再現(xiàn)的光敏電路裝置中和用于跟蹤或定位光束(或一種不同類型的輻射束)的設(shè)備中。...
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