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具有不對(duì)稱邊緣輪廓的硅片及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6892499

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本發(fā)明涉及一種,屬于在大量生產(chǎn)制造工藝中 利用硅片作為襯底的半導(dǎo)體器件制造方法。技術(shù)背景采用傳統(tǒng)的襯底硅片制造方法,硅片需要經(jīng)過(guò)如下步驟切片、倒角、研磨、腐蝕、一側(cè)或雙側(cè)拋光。倒角后的硅片邊緣輪廓有T型和R型兩種(如圖1和圖2所示),都屬于對(duì)稱 輪廓,即硅片的正反兩個(gè)表面,其邊緣輪廓是一致的。在后續(xù)的晶片加工過(guò)程中,硅片會(huì)進(jìn) 行背面減薄作業(yè),如附圖l、圖2、圖3中箭頭下方圖形所示,最終厚度t通常會(huì)在大約100 um左右,采用傳統(tǒng)倒角方法制造的硅片,背面減薄...
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