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采用大馬士革工藝制備金屬柵極中接觸孔的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6893162

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件制備方法,特別涉及一種半導(dǎo)體器件的金屬柵極中接觸孔的制備方法。背景技術(shù)在目前傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝中,普遍使用多晶硅作為柵極材料。但現(xiàn)在已經(jīng)開(kāi)始使用金屬柵電極的工藝。目前的金屬柵極工藝,與傳統(tǒng)工藝屮的基本相同,而將其中的多晶硅柵極用金屬材料來(lái)代替。作為金屬柵電極使用的材料,在應(yīng)0S管(n型場(chǎng)效應(yīng)晶體管)中可為氮化鉭(TaN)和二氧化鉿(Hf0》材料,而在PM0S管(p型場(chǎng)效應(yīng)晶體管)屮可為氮化鈦(TiN)和二氧化鉿(Hfo》材料。同時(shí),n...
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