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技術(shù)編號(hào)：6893583

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本發(fā)明涉及微電子，更具體地，涉及一種用于半導(dǎo)體 加工/處理工藝的晶片夾持系統(tǒng)。此外，本發(fā)明還涉及一種應(yīng)用該晶 片夾持系統(tǒng)的半導(dǎo)體處理設(shè)備。背景技術(shù)在集成電路(IC)制造工藝過程中，特別是等離子刻蝕(ETCH)、 物理氣相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)等工藝過程中，為了固 定、支撐及傳送晶片(Wafer)等被加工器件，避免被加工器件出現(xiàn) 移動(dòng)或錯(cuò)位現(xiàn)象，往往使用靜電卡盤(Electro Static Chuck，簡(jiǎn)稱 ESC)或者機(jī)械夾具等晶片夾持裝...
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