技術(shù)編號：6894885
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種用藥液、純水等處理液對半導(dǎo)體晶片或液晶顯示裝置用 玻璃基板(以下、簡稱為"基板")等的基板進行清洗等處理的基板處理裝 置。背景技術(shù)以往，作為該種裝置，例如可以舉出如下所述裝置，該裝置具有處理 槽，該處理槽用于貯存處理槽、并收容基板；噴嘴，該噴嘴用于向處理槽的 上部空間供給異丙醇(IPA)氣體(例如，參照JP特開平10—22257號公報 (0024段、0025段、圖3))。在該裝置中，向處理槽供給純水而對基板進 行清洗后，向處理槽的上部空間供給...
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