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半導(dǎo)體裝置及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6895561

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本發(fā)明涉及一種實(shí)現(xiàn)提高強(qiáng)電介質(zhì)電容器的電極和布線之間的接觸的 。背景技術(shù)近年來,作為即使切斷電源也能存儲(chǔ)信息的非易失存儲(chǔ)器,強(qiáng)電介質(zhì)存 儲(chǔ)器(FeRAM)引人關(guān)注。FeRAM利用強(qiáng)電介質(zhì)的磁滯特性來存儲(chǔ)信息。 在強(qiáng)電介質(zhì)存儲(chǔ)器,按每一個(gè)存儲(chǔ)器單元設(shè)置有強(qiáng)電介質(zhì)電容器。強(qiáng)電介質(zhì) 電容器是在一對(duì)電極之間作為電容器電介質(zhì)而設(shè)置有強(qiáng)電介質(zhì)膜。由于強(qiáng)電 介質(zhì)電容器相應(yīng)于電極間的施加電壓而產(chǎn)生極化,即使取消施加電壓,也保 留自發(fā)極化,所以能夠保留信息。另外,當(dāng)施加電壓...
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