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npn型InGaAs/InP DHBT外延層結(jié)構的制作方法技術資料下載

技術編號:6896909

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本發(fā)明涉及高速npn型InGaAs/InP雙異質(zhì)結(jié)雙極性晶體管 (DHBT)器件的結(jié)構設計,尤其涉及一種InGaAsP組分漸 變集電極結(jié)構的npn型InGaAs/InPDHBT外延層結(jié)構。背景技術InP基材料有很高的飽和電子遷移速度,可獲得高的基極摻雜濃 度,非常適合作為超高速異質(zhì)結(jié)雙極性晶體管(Heterojunction Bipolar Transistor, HBT)。 InP基HBT的結(jié)構用InP材料作發(fā)射極,InGaAs 材料作為基極,InGaA...
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