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技術(shù)編號：6897235

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本發(fā)明涉及多晶硅層的制作方法、用該多晶硅層制作的薄膜晶體管 (TFT )、 TFT的制作方法和具有該TFT的有機發(fā)光二極管(OLED )顯示裝 置。更特別的是，本發(fā)明涉及利用結(jié)晶誘導(dǎo)金屬晶化制作多晶硅層的方法， 其中該方法通過形成和退火其中的金屬層或硅化物層去除存在于將成為溝 道的多晶硅層區(qū)域中的結(jié)晶誘導(dǎo)金屬。本發(fā)明還涉及具有半導(dǎo)體層的TFT、 TFT的制作方法和具有TFT的OLED顯示裝置，該半導(dǎo)體層利用多晶硅層 制作，該多晶硅層由所述方法形成，以便明顯...
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