技術編號：6897280
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明有關于一種半導體元件結構及制作方法，特別是有關于一種球型凹入式溝道晶體管結構，具有馬鞍狀(saddle-shaped)的凹入式柵極及凹入式 溝道，尤其適合應用于高密度深溝槽電容(deep trench capacitor)動態(tài)隨機存取 存儲器(dynamic random access memory ， 簡稱為DRAM)元件。背景技術隨著元件設計的尺寸不斷縮小，晶體管柵極溝道長度(gate channel length) 縮短所引發(fā)的短溝道效應(s...
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