技術編號：6898640
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體裝置制造的領域，尤其涉及使用剝除時間的反饋控制以減少于晶體管柵極上剝除后臨界尺寸變化的方法和裝置。背景技術 半導體技術中持續(xù)的趨勢為制造更多和/或更快的半導體裝置。此趨勢使得極大規(guī)模集成電路(ULSI)能夠繼續(xù)減少裝置和電路的尺寸和特征。舉例而言，在具有場效晶體管的集成電路中，一個非常重要的處理步驟為形成用于各晶體管的柵極，在此特別重視其柵極的尺寸。在許多應用中，性能特性(例，切換速度)和晶體管的尺寸為裝置的溝道長度的函數(shù)，其大約對應于晶體...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。