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半導(dǎo)體器件及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6898662

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本發(fā)明涉及一種。技術(shù)背景隨著已經(jīng)小尺寸地制造半導(dǎo)體器件,高電壓器件的尺寸也己經(jīng)逐漸地減小。具體而言,高電壓器件無論其尺寸如何都必須執(zhí)行相同性能。另外,有 必要提供與低電壓器件的制造工藝兼容的制造方法。由于快速跳回(snapback)現(xiàn)象而在高電壓器件中可能出現(xiàn)擊穿現(xiàn)象。 具體而言,如果增加向高電壓晶體管的漏極施加的電壓,則電子從其源極移向漏極。因此,在位于漏極方向上的間隔件的下部周圍可能出現(xiàn)碰撞電離。隨著碰撞電離出現(xiàn),空穴從位于漏極方向上的間隔件的下部朝著...
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